Product Introduction
Product Specification
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技術規格 |
參數 |
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真空泵 |
高性能旋片泵 |
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抽速 |
≥2m3/h |
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極限真空 |
<10Pa |
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工作氣壓 |
10-100Pa |
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抽真空時間 |
<1Min |
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真空規 |
皮拉尼真空計 |
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腔體 |
標配~Ø150*90mm石英玻璃腔體 |
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射頻電源 |
10-50 W可調, 13.56 MHz |
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操作方式 |
觸摸屏控制,控制系統提供互鎖保護功能 |
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重量 |
主機~20 kg |
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尺寸 |
~400mm長*310mm深*368mm高 |
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