TEM 樣品桿或樣品如果暴露在空氣中或存儲不當，容易產生有機污染，如果繼續將其置 于TEM 腔室內，不僅會影響成像質量，而且對 TEM 腔室也會造成污染。

等離子體清洗儀IC150，通過RF射頻電源將通入的空氣離化，離化后產生的氧活性自由基、 臭氧及氧等離子體等強氧化粒子與樣品表面有機污染物發生化學反應，生成 CO₂ 和 H₂O 等氣體并被真空泵組抽出，最終實現樣品桿或樣品表面有機污染物清洗之目的。