技術規(guī)格

參數(shù)

真空泵

 高性能旋片泵

抽速

  ≥ 4m³/h

極限真空

  < 1Pa

工作氣壓

  4 -10Pa

抽真空時間

  < 2-3Min

真空規(guī)

  皮拉尼真空計

腔室尺寸

  ~Ø150*120mm

旋轉樣品臺

  直徑：80mm；轉速：60RPM；靶基距：55-70mm連續(xù)可調

濺射靶材

  靶材尺寸 Ø 30*0.2-1mm/2片，支持單靶濺射和雙靶順序濺射兩種模式

濺射電源

  恒功率DC濺射電源 Max. 30W ，Max. 100mA，0-800 V DC

操作方式

  觸摸屏控制，控制系統(tǒng)提供互鎖保護功能

重量

  主機~15kg

尺寸

  ~250mm長 *360mm深 *374mm高

電源

  100-240V AC，50/60Hz 接地三腳插頭

功耗

  <500 W

質保

  一年

備注

  以上所列技術規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問請聯(lián)系我們