技術規格

參數

泵組

渦輪分子泵+無油隔膜泵

分子泵入口法蘭

DN63ISO-K（標準）

分子泵抽速

>85L/s （N₂）

前級泵

>0.7m³/h

極限真空

<5E-4Pa

泵組啟動時間

≤300s

TEM樣品桿配件

適配Thermo、JEOL、Hitachi樣品桿可選；可放置2路以上TEM holder

樣品腔室尺寸

~160 *100 mm，等離子體處理強弱分區設置

等離子體清洗源

遠程RF射頻源原理，手動匹配

清洗電源功率

13.56MHz RF電源，5-50W可調

清洗氣體控制

標配3路MFC流量計控制，可以外接如Ar、O₂和H₂等氣體

真空規

進口品牌全量程復合規

操作方式

觸摸屏控制, 預存工藝菜單，控制系­­­­­統提供互鎖保護功能

重量

~30Kg

尺寸

~500mm寬*466mm深*390mm高