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半導體薄膜量測硬質涂層量測
Product Introduction
Product Specification
| 技術規格 | 參數 |
| 基本原理 | 激光曲率法 基于Stoney公式 |
| 薄膜應力測試范圍 | 10M-50GPa |
| 曲率半徑測試范圍 | 0.5-50m |
| 薄膜應力計算精度 | 小于3% |
| 曲率半徑重復精度 | ＜2% |
| 測試平臺行程 | X方向：30 mm / Y方向：100 mm；步長：Min 0.1 mm |
| 樣品尺寸 | 建議長寬比>5:1的長方形樣品；典型尺寸：10×50×1 mm |
| 樣品校正 | 可計算校正原始表面不平直影響（對減模式） |
| 主要功能 | 可建測量樣品材料參數、測量參數數據庫 自動測量樣品表面輪廓、曲率、弓高等數據 自動計算曲率半徑和薄膜應力 2D/3D 可視化樣品表面輪廓、曲率半徑、弓高、薄膜應力等數據 |
| 工作溫度 | 0-50℃ |
| 操作軟件 | 視窗界面/適用于Windows 10 系統 |
| 操作電腦 | 配置優于 2GHz CPU、 8G 內存、256G 硬盤，不小于21寸顯示屏 知名品牌一體機 |
| 重量尺寸 | ～25kg / ～650 mm寬×350 mm 深×400 mm高 |
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